近1O年來，隨著無線通信技術的迅猛發展，新一代高性能濾波器成為了目前研究的熱點之一。BAW濾波器因其優異的性能具有很強的競爭力。本文簡要介紹了薄膜體聲波濾波器的結構、原理及相關壓電薄膜材料等問題。目前的BAW器件尚存在一些急需解決的問題：如何獲得更大的耦合系數以滿足下一代通信系統中大數據量傳輸的帶寬要求、如何提高工藝水平以保證各膜層厚度誤差的匹配、如何獲得c軸一致取向的壓電薄膜等。盡管如此，完全可以相信，隨著第三代移動通信時代的到來，BAW濾波器憑借其獨特的優勢必定會展現出更廣闊的應用前景。

作者：蔣松濤、吳孟強、吳勇、張樹人，電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室

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