鎵(Ga) 是一種化學(xué)元素,原子序數(shù)為31。鎵在自然界中不存在游離態(tài),而是鋅和鋁生產(chǎn)過(guò)程中的副產(chǎn)品。
GaN 化合物由鎵原子和氮原子排列構(gòu)成,最常見的是纖鋅礦晶體結(jié)構(gòu)。纖鋅礦晶體結(jié)構(gòu)(如下圖所示)呈六方形,通過(guò)兩個(gè)晶格常數(shù)(圖中標(biāo)記為a 和c)來(lái)表征。
GaN 晶體結(jié)構(gòu)
在半導(dǎo)體領(lǐng)域,GaN 通常是高溫下(約為1,100°C)在異質(zhì)基板(射頻應(yīng)用中為碳化硅[SiC],電源電子應(yīng)用中為硅[Si])上通過(guò)金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD) 或分子束外延(MBE) 技術(shù)而制成。
GaN-on-SiC 方法結(jié)合了GaN 的高功率密度功能與SiC 出色的導(dǎo)熱性和低射頻損耗。這就是GaN-on-SiC 成為高功率密度射頻應(yīng)用合并選擇的原因所在。如今,GaN-on-SiC 基板的直徑可達(dá)6 英寸。
GaN-on-Si 合并的熱學(xué)性能則低得多,并且具有較高的射頻損耗,但成本也低很多。這就是GaN-on-Si 成為價(jià)格敏感型電源電子應(yīng)用合并選擇的原因所在。如今,GaN-on-Si 基板的直徑可達(dá)12 英寸。
那么,為何GaN 在射頻應(yīng)用中優(yōu)于其他半導(dǎo)體呢?
相比Si 和GaAs 等其他半導(dǎo)體,GaN 是一種相對(duì)較新的技術(shù),但它已然成為某些高射頻、大功耗應(yīng)用的技術(shù)之選,比如需要長(zhǎng)距離或以高端功率水平傳輸信號(hào)的應(yīng)用(如雷達(dá)、基站收發(fā)器 [BTS]、衛(wèi)星通信、電子戰(zhàn)[EW] 等)。
GaN-on-SiC在射頻應(yīng)用中脫穎而出,原因如下:
高擊穿電場(chǎng):由于GaN 的帶隙較大,GaN 具有較高的擊穿電場(chǎng),這使得GaN 設(shè)備的工作電壓可遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于其他半導(dǎo)體設(shè)備。當(dāng)受到足夠高的電場(chǎng)作用時(shí),半導(dǎo)體中的電子能夠獲得足夠動(dòng)能來(lái)打破化學(xué)鍵(這一過(guò)程被稱為碰撞電離或電壓擊穿)。如果碰撞電離未得到控制,則可能會(huì)降低器件性能。由于GaN 器件可以在較高電壓下工作,因此可用于較高功率的應(yīng)用。
高飽和速度:GaN 上的電子具有很高的飽和速度(在極高電場(chǎng)下的電子速度)。當(dāng)結(jié)合大電荷能力時(shí),這意味著GaN 器件能夠提供高得多的電流密度。
射頻功率輸出是電壓與電流擺幅的乘積,所以,電壓越高,電流密度越大,則實(shí)際尺寸的晶體管中產(chǎn)生的射頻功率就越大。簡(jiǎn)言之,GaN 器件產(chǎn)生的功率密度要高得多。
出色的熱屬性:GaN-on-SiC 器件表現(xiàn)出不同一般的熱屬性,這主要因?yàn)镾iC 的高導(dǎo)熱性。具體而言,這意味著在消耗功率相同的情況下,GaN-on-SiC 器件的溫度不會(huì)變得像GaAs 器件或Si 器件那樣高。器件溫度越低才越可靠。