2015年10月19日，美國加利福尼亞貝爾蒙特，上海微技術工業研究院（SITRI）位于美國加利福尼亞州貝爾蒙特的硅谷創新中心正式啟用。中國駐舊金山總領事館總領事羅林泉大使出席開幕式，對硅谷創新中心的成立表示熱烈祝賀。中國科學院上海微系統與信息技術研究所所長王曦院士，上海微技術工業研究院總裁楊瀟，浙江清華長三角研究院院長王濤、MEMS之父Kurt Peterson，NEA合伙人和亞洲董事總經理Carmen Chang以及眾多硅谷著名投資人、技術專家、企業家和孵化器代表出席開幕活動。

“物聯網是互聯網之后的新一代信息技術革命，而‘超越摩爾’是物聯網智能硬件的核心和基礎，”上海微技術工研院總裁楊瀟介紹，“超越摩爾”是第三維度的半導體創新，包括了MEMS傳感器、光電器件、射頻IC、生物芯片、微能源等不依賴于納米級線寬驅動的CMOS集成電路技術。然而，“超越摩爾”技術的研發需要跨領域多種微技術的融合創新，且這些創新需要在成熟半導體的基礎上開發新材料、新工藝，同時需要設計和制造的緊密結合及優化，目前只有大企業有能力在這領域進行可持續的研發和創新。楊瀟表示，“上海微技術工研院設立硅谷創新中心、打造全球創新網絡，從根本上解決了這一瓶頸，將實現“超越摩爾”技術的“百花齊放”，從而加快推進物聯網智能硬件創新應用和市場化。”

上海微技術工研院與半導體和物聯網硬件產業鏈緊密合作，其獨特的360度全方位產業化平臺為初創企業提供各個領域的支持，打通從概念到設計、晶圓廠、封裝測試、系統集成、到市場應用和整個產業鏈上下游。工研院硅谷創新中心的啟用，無疑將進一步做大“蛋糕”，打造高效率的“超越摩爾”和物聯網智能硬件創新平臺，為初創企業提供其與大型企業交流創新的資源和機會，幫助其實現高效快速進入市場，并尋找到所需的關鍵供應鏈的合作伙伴。

“作為‘超越摩爾’領域的核心，MEMS傳感器在消費領域、手機、可穿戴、醫療以及生物技術擁有巨大的機遇，”來自Silicon Valley Band of Angels的MEMS之父Kurt Peterson博士擁有豐富的半導體和MEMS產業經驗，他欣喜地表示，“上海微技術工研院將成為‘超越摩爾’領域的創新催化劑，并成為拉動MEMS產業以及整個半導體市場未來增長的關鍵‘引擎’。”

“中國是全球物聯網發展的重要組成部分，上海微技術工研院總部所在的上海是物聯網技術重點投資的產業聚集地。”IHS Technology高級總監Jérémie Bouchaud評價道：“上海微技術工研院在促進中國MEMS和傳感器創新、實現新的物聯網應用過程中發揮了關鍵作用。參考上海的加速器模式開設硅谷創新中心，上海微技術工研院填補了中國和硅谷之間高效率技術創新和產業化平臺的空白。”

開幕活動上，多家創投基金紛紛看好上海微技術工研院硅谷創新中心的發展前景、并表示將積極參與硅谷創新中心的工作，其中包括：武岳峰資本、SVC天使基金、青云創投、Nautilus Ventures、TEEC天使基金、Oriza Ventures、千驥創投、和玉投資、賽伯樂投資以及Jiading Ventures。