1引言
　　GaAsMMIC控制電路由于體積小、重量輕、開關(guān)速度快、抗輻射、可靠性高、幾乎無功耗等顯著優(yōu)點在許多電子系統(tǒng)中獲得廣泛應用。眾所周知，在現(xiàn)代先進的移動通信等系統(tǒng)（如空間分集智能天線和相控陣系統(tǒng)）中，均需進行幅度和相位的調(diào)整，一般系統(tǒng)均要求相位調(diào)整時，幅度變化越小越好。而幅度調(diào)整時，相位變化越小越好。文中所提DC-50GHz超寬帶的GaAsMMIC壓控電調(diào)衰減器除了具有大動態(tài)衰減范圍、優(yōu)良的衰減隨控制電壓變化的線性度、優(yōu)異的輸入/輸出駐波及多功能等特點外，低的插入相移是這種芯片的最顯著的特點。因此，這種電路可以用作：a）低插入相移條件下，作為DC?50GHzMMIC可變衰減器，組成自動損耗控制組件；b）在多倍頻程的矢量調(diào)制器中，在引入低插入相移時完成幅度調(diào)制和幅度調(diào)整功能；c）DC-50GHz的高性能吸收式（或稱匹配型）單刀單擲開關(guān)；d）多倍頻程的脈沖幅度調(diào)制器；e）與寬帶放大器級聯(lián)組成寬頻帶、大動態(tài)、衰減量隨控制電壓高線性變化的AGC（自動增益控制）放大器。
2設計
　　這種單片壓控可變衰減器的設計和實現(xiàn)，總體考慮如下：
　　——根據(jù)電性能指標要求，選擇合適的電路拓撲結(jié)構(gòu)和設計合理的開關(guān)MESMET；
　　——獲得DC-50GHz頻率范圍下開關(guān)MESFET的等效電路模型參數(shù)比例縮放方程；
　　——采用串聯(lián)和并聯(lián)開關(guān)MESFET兩個控制端等負載設計方法，簡化電路和降低功耗。

圖1電原理圖

圖2芯片照片

    由于這種電路工作時，控制電壓是一組互補電壓，分別控制串聯(lián)和并聯(lián)的開關(guān)MESFET。電調(diào)過程中兩控制端的負載必須相同，否則壓控電調(diào)時，駐波特性明顯惡化。通常設計直流參數(shù)電路來平衡兩控制端的負載使其相同，達到電調(diào)控制中改善駐波特性的目的。本文采用了設計時選定兩控制負載相同的方法，達到改善電調(diào)控制端中駐波特性的目的。過程如下：
        ——采用成熟的微波單片電路設計軟件（如AgilentEesof軟件）進行電路的仿真和優(yōu)化；
　　——根據(jù)優(yōu)化的結(jié)果進行版圖設計；
　　——根據(jù)設計的版圖進行二次仿真和優(yōu)化，并修改和確定版圖；
　　——選擇和設計合理的工藝途徑；
　　——工藝流片，微波在片測試。
　　電路原理如圖1所示，采用匹配型SPST的寬帶開關(guān)電路拓撲，開關(guān)臂兩端分別串聯(lián)吸收電阻器和開關(guān)MESFET并聯(lián)的支路以及多只與主傳輸并聯(lián)的開關(guān)MESFET組成，電路中采用了低色散、寬頻帶的共面波導傳輸線以展寬頻率帶寬。設計低插入相移功能的基本原理主要是利用相位相互抵消原理。即其電路物理概念為：串聯(lián)支路感抗引入的相位滯后和并聯(lián)支路容抗引入的相位超前相互抵消。電路設計時考慮的主要電性能指標為：
　　——DC?50GHz的頻率范圍；
　　——設法獲得最小衰減量及頻帶內(nèi)衰減量起伏；
　　——最小衰減量時的低輸入/輸出駐波；
　　——最大衰減量及頻帶內(nèi)衰減的平坦度；
　　——最大衰減量時的低輸入/輸出駐波；
　　——低相移衰減，盡可能小的衰減相移比。
　　電路設計采用AgilentEesof軟件，為獲得最佳電性能，不同的MESFET應選取不同的最佳柵寬，因此設計中采用了模型參數(shù)比例縮放技術(shù)。電路模型參數(shù)提取采用HPIC-CAP軟件及相應的模型參數(shù)提取系統(tǒng)。由于設計頻率高達50GHz，因而還采用了電路模型參數(shù)頻率擴展和擬合技術(shù)以獲得DC-50GHz開關(guān)MESFET電路模型的設計參數(shù)。
3制作
　　芯片采用南京電子器件研究所離子注入圓片工藝線制作，采用離子注入工藝具有較高的成品率和長期工作穩(wěn)定性。工藝包括Au/Ge/Ni歐姆接觸金屬化：0.5μm柵長Ti/Pt/Au肖特基勢壘柵；N＋、N－注入；離子注入電阻；金屬膜電阻；SiO2鈍化膜；微帶線；空氣橋；通孔接地；背面金屬化及電鍍等。工藝成品率高達80％以上，芯片間和圓片間的電性能具較好的一致性。芯片尺寸為2.33mm×0.68mm×0.1mm。芯片照片如圖2所示。信號輸入/輸出端均為共面波導接口，采用通孔接地和多重芯片鈍化技術(shù)，可靠性高。控制端均靠芯片一側(cè)，便于安裝使用。
4性能
　　電性能測試采用HP8510C矢量網(wǎng)絡分析儀和CascadeMicrotech微波探針臺組成的微波在片測試系統(tǒng)。測試的各種電性能參數(shù)如最小衰減；最小衰減時的輸入/輸出駐波；最大衰減；最大衰減時的輸入/輸出駐波；最小衰減與最大衰減的相移差。當V1為0V，V2為負極性的FET夾斷電壓VP時，對應最小衰減態(tài)。當V1為VP，V2為0V時，對應最大衰減態(tài)。當V1從0V逐漸減小到VP，V2從VP同步逐漸增加到0V時，衰減量從最小變化到最大，反之亦然。芯片通過了高、低溫儲存，高、低溫沖擊，高、低溫工作，鍵合，剪切和工作環(huán)境溫度為125℃的1000小時工作壽命等實驗。
5結(jié)論
　　開發(fā)成功的低相移、多功能DC?50GHz高性能MMIC壓控可變衰減器,具有良好的電性能、較高的工藝成品率和高可靠性,達到了設計要求，具有一定的實用性。