MicroGen公司于美國伊利諾伊州舉辦的Sensors Expo and Conference展覽會中宣布,其振動式能量采集BOLT Power Cell實現實時無線傳感器網絡(WSN),其采用凌力爾特(Linear Technology)Dust Networks LTC5800-IPM SmartMesh IP mote-on-chip。凌力爾特的mote系由MicroGen壓電式微機電系統(MEMS)振動能量收集器或微功率發電機(MPG)技術進行供電。
凌力爾特的WSN包括四個mote,并采用高效功率受控通訊的WSN軟件。自我供電式mote是由設定于120Hz典型工業振動級和0.2g(g=9.8m/s2)的加速度G級電子振動器所致能。MicroGen將此種由振動提供電能的mote分別設置于凌力爾特和X-FAB MEMS Foundry的展位,這些mote距離MicroGen展位約20~30公尺,為首次完成采用全MEMS能量收集進行供電的WSN。
MicroGen BOLT Power Cell內部為一小型半導體MEMS芯片,其采用類似計算機芯片業之制程制造,芯片為一約1.0平方公分(cm2)的壓電式MEMS MPG,其內含壓電式薄膜末端質量加載微懸臂,當MPG的懸臂因外部振動力而上下彎曲時將產生交流(AC)電。在諧振時AC功率輸出達到最大,此時其約為100μW (120Hz和≥0.1g時)和900μW(600Hz和≥0.5g時)。