7月6日,三星電子宣布,三星高級技術學院(SAIT)的研究人員與蔚山國家科學技術學院(UNIST)、劍橋大學兩家高校合作,發(fā)現(xiàn)了一種名為非晶態(tài)氮化硼(a-BN)的新材料,此項研究可能加速下一代半導體材料的問世。
三星指出,最近,SAIT一直在研究二維(2D)材料-具有單原子層的晶體材料的研究和開發(fā)。具體而言,該研究所一直致力于石墨烯的研究和開發(fā),并在該領域取得了突破性的研究成果,例如開發(fā)新的石墨烯晶體管以及生產大面積單晶晶片的新方法。除了研究和開發(fā)石墨烯外,SAIT還致力于加速材料的商業(yè)化。
“為了增強石墨烯與硅基半導體工藝的兼容性,半導體襯底上的晶圓級石墨烯生長應在低于400°C的溫度下進行。”SAIT的石墨烯項目負責人兼首席研究員Shin Hyeon-Jin Shin表示。“我們還在不斷努力,將石墨烯的應用范圍擴展到半導體以外的領域。”
Source:三星
新聞稿指出,新發(fā)現(xiàn)的材料稱為非晶氮化硼(a-BN),由具有非晶分子結構的硼和氮原子組成。盡管非晶態(tài)氮化硼衍生自白色石墨烯,其中包括以六邊形結構排列的硼和氮原子,但實際上a-BN的分子結構使其與白色石墨烯具有獨特的區(qū)別。
非晶氮化硼具有超低介電常數(shù),僅1.78,具有強大的電氣和機械性能,可以用作互連隔離材料以最大程度地減少電干擾。同時也證明了該材料可以在400°C的低溫下以晶圓級生長。因此,預計非晶氮化硼將廣泛應用于諸如DRAM和NAND解決方案等半導體,尤其是在用于大型服務器的下一代存儲器解決方案中。
“最近,人們對2D材料及其衍生的新材料的興趣不斷增加。但是,將材料應用于現(xiàn)有的半導體工藝仍然存在許多挑戰(zhàn)。”SAIT副總裁兼無機材料實驗室負責人Park Seongjun Park說。“我們將繼續(xù)開發(fā)新材料來引領半導體范式的轉變。”
文稿來源:三星電子