麻省理工Ruonan Han團(tuán)隊Huzhi和王成兩位博士生（以下簡稱MIT團(tuán)隊）在今年2月IEEE Journal of Solid-State Circuits發(fā)表文章《A 32-Unit 240-GHz Heterodyne Receiver Array in 65-nm CMOS With Array-Wide Phase Locking》，報道其在太赫茲成像芯片領(lǐng)域取得的最新進(jìn)展。

在240GHz中心工作頻率，MIT團(tuán)隊采用65nmCMOS工藝實現(xiàn)了32像素超外差接收機(jī)陣列、靈敏度fW量級、整個陣列面積僅1.2mm²。該陣列性能比較如下：

表一：MIT團(tuán)隊4x8超外差接收機(jī)陣列性能比較表，來自《A 32-Unit 240-GHz Heterodyne Receiver Array in 65-nm CMOS With Array-Wide Phase Locking》

該超外差接收機(jī)陣列核心特點是采用了分布式本振鏈路設(shè)計，突破了陣列擴(kuò)展性和超外差本振鏈路制約的矛盾，與此同時實現(xiàn)了片上鎖相功能。成功構(gòu)建了具有強(qiáng)大擴(kuò)展能力的相干陣列芯片。

以下是系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖：

圖一：傳統(tǒng)集中式本振架構(gòu)左圖和分布式本振架構(gòu)右圖（來自《A 32-Unit 240-GHz Heterodyne Receiver Array in 65-nm CMOS With Array-Wide Phase Locking》）

圖二：MIT團(tuán)隊4x8超外差接收機(jī)陣列外形圖（來自 《A 32-Unit 240-GHz Heterodyne Receiver Array in 65-nm CMOS With Array-Wide Phase Locking》）

MIT團(tuán)隊在芯片級的突破給太赫茲被動成像產(chǎn)業(yè)化帶來了新的曙光，目前太赫茲被動成像系統(tǒng)廠商不完全統(tǒng)計如下表：

圖三：太赫茲被動成像系統(tǒng)廠商列表（數(shù)據(jù)可能有誤僅供參考）

最早出現(xiàn)的直檢式接收機(jī)來源于宇航輻射計技術(shù)。在上個世紀(jì)六十年代金星探測計劃中，NASA首次在水手2號部署了K波段雙通道輻射計。由JPL領(lǐng)銜設(shè)計的這套雙通道直檢式接收機(jī)不負(fù)眾望，成功穿透高溫高壓的金星大氣層獲取了金星表面溫度。自此微波輻射計（接收機(jī)）在宇航中的應(yīng)用拉開序幕,逐漸成為紅外、可見光之外宇航探測的標(biāo)準(zhǔn)配置。

圖四：首套微波輻射計外形和結(jié)構(gòu)圖（來自NASA）

但直檢式方案先天缺陷在于無法探測相位信息，同時高頻率沒有商用的低噪聲放大器可以提高探測靈敏度。所以面對高靈敏度、高分辨率的成像要求，太赫茲超外差方案自然成為不二之選。近年來ESA和NASA在ICECUBE、普朗克、哨兵、MetOp-SG、JUICE等多顆衛(wèi)星采用不同機(jī)理(肖特基二極管、SIS、HEB等) 研制的超外差接收機(jī)已經(jīng)覆蓋了毫米波到中紅外頻段（STO2望遠(yuǎn)鏡采用4.8THz接收）。

圖五：JUICE木星探測器600GHz輻射計和STO2望遠(yuǎn)鏡1.4/1.9THz四通道陣列（來自LERMA和Delft大學(xué)）

但是陽春白雪的宇航技術(shù)在轉(zhuǎn)化為的商用系統(tǒng)時，水土不服出現(xiàn)了。英國盧瑟福實驗室將宇航級太赫茲接收機(jī)技術(shù)授權(quán)給THRUVISION公司商業(yè)化，THRUVISION的TS系列被動成像系統(tǒng)（前后成像）單價超過200萬人民幣。要實現(xiàn)工業(yè)化成像市場所必須的魚和熊掌兼得，高靈敏的芯片陣列將是必經(jīng)之路。

目前TI、英飛凌等芯片巨頭正忙于在24/77GHz汽車?yán)走_(dá)芯片上推陳出新，更高頻率的主被動成像芯片級產(chǎn)品仍乏善可陳。國內(nèi)芯片巨頭中電13所在奮力追趕近十年后終于在W波段接收機(jī)芯片獲得突破，性能指標(biāo)不遜于法國OMMIC、德國GOTMIC而單價卻降到萬元以下。而基于CMOS技術(shù)的大規(guī)模陣列芯片有望將單價再降低一個數(shù)量級。

MIT團(tuán)隊在芯片級的突破必會讓太赫茲技術(shù)更快的出現(xiàn)在我們的衣食住行中。太赫茲技術(shù)產(chǎn)業(yè)化和商用化已在路上。

免責(zé)聲明：本文數(shù)據(jù)可能有缺失和錯誤僅供參考。