集成電路納米級器件建模和千兆級電路仿真的全球領導廠商概倫電子科技有限公司(ProPlus Electronics Co. Ltd., 下稱“概倫電子”)發布了新一代低頻噪聲測試系統9812DXTM,刷新了在噪聲測量速度、系統精度和單一系統所支持的噪聲測試條件和覆蓋器件范圍等方面的業界新標準。
作為業界“黃金標準”測試系統9812B和9812D的改進版本,9812DX為先進半導體工藝開發、器件建模和高端電路設計提供了最快速和最完整的低頻噪聲測試和分析解決方案,面對先進工藝節點下噪聲測試數量“爆炸式”增長的挑戰,可以滿足各種不同工藝平臺下半導體器件和集成電路低頻噪聲測試的需求。
與9812D相比,9812DX的系統精度提高了超過十倍,噪聲測試速度提升了3~10倍以上,并支持更寬的測試條件和更為全面的待測器件種類。同時,9812DX提升了系統支持的電壓范圍至最高200V,并可以支持更低的電流至0.1nA以下。
概倫電子董事長兼總裁劉志宏博士說:“9812DX是技術上的一次重大突破,通過其絕對領先的硬件指標、系統性能和噪聲測試能力,進一步加強了我們在全球1/f噪聲測試領域的絕對領導地位,并確保了我們的解決方案可以滿足當前和未來先進工藝開發和高端集成電路設計的需求。”
業界領先的測試能力
9812DX提供了業界最高的晶圓級噪聲測試精度和帶寬,用戶可以在0.03Hz-10MHz的頻率范圍內用9812DX來測量超低電流如0.1nA以下的低頻噪聲,從而滿足集成電路設計中器件偏置在弱反型區或光電二極管和圖像傳感器暗電流的噪聲測量要求。
另外,9812DX可以支持高達200V的器件偏置和全面的測試條件和待測器件種類,如體硅MOSFET、FinFET、FD-SOI、LDMOS、BJT、各種電阻(阻值范圍在10到10M歐姆之間的電阻和壓控電阻)、二極管(如光電、激光和齊納二極管)、傳感器以及封裝集成電路等。
9812DX是市面上唯一能夠同時支持高阻抗和低阻抗器件的高精度噪聲測試的系統,以單一系統支持最為完整的工藝和器件類型,包括16納米、14納米到10納米和7納米等先進工藝節點。
最快的測試系統
通過改進硬件架構的設計和提升軟件算法的執行效率,9812DX刷新了晶圓級低頻噪聲測試速度的記錄,其典型噪聲測試速度在9812D的基礎上提升了3~10倍以上,可以在10秒內完成單一偏置條件的測試,從而幫助用戶在最短的時間內獲得精確的測試數據,滿足先進工藝開發中的工藝質量監控、工藝的隨機變化分析和高端集成電路設計中大量噪聲數據測試的需求。
概倫電子同時提供更高測試帶寬的并行噪聲測試系統M9800,與9812DX相比,可以在一臺晶圓探針臺上實現2-4倍的測試帶寬的提升,滿足更高端的測試要求。
業界“黃金標準”的噪聲測試系統
概倫電子的噪聲測試系統9812B,及其前身9812A和9603系列,自上世紀九十年代推出至今,已被全球一百多家領先的半導體工藝和研究機構所采用,被公認為業界的“黃金標準”。其于2013年推出的換代產品9812D也已被所有領先的半導體代工廠、頂尖的IDM公司和無晶圓集成電路設計公司作為標準噪聲測試系統所采用,應用于所有先進工藝節點的技術開發和集成電路設計。