適用于無(wú)線射頻/微機(jī)電系統(tǒng)（RF/MEMS） - 和生物技術(shù)應(yīng)用的先進(jìn)光敏玻璃

國(guó)際技術(shù)集團(tuán)和特種玻璃專家肖特集團(tuán)近日推出經(jīng)過(guò)重大技術(shù)改進(jìn)的光敏玻璃產(chǎn)品FOTURAN^TM II，進(jìn)一步擴(kuò)大其薄玻璃和晶圓產(chǎn)品組合。該材料具有先進(jìn)的光敏性、均質(zhì)性。這些獨(dú)特的特性使無(wú)線射頻（RF）元件和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造商可以為各種半導(dǎo)體和生物技術(shù)應(yīng)用生產(chǎn)出結(jié)構(gòu)更為精細(xì)的基板。

肖特的光學(xué)敏感性FOTURAN^TM II玻璃晶圓可按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟構(gòu)造和加工，即：紫外線曝光，熱處理，蝕刻和陶瓷化（可選）。圖片提供：肖特

肖特集團(tuán)是光敏性玻璃領(lǐng)域的開(kāi)拓者。過(guò)去30年間，作為一種性能卓越的特種玻璃材料，該公司的FOTURAN^TM 玻璃產(chǎn)品一直廣為人知，并應(yīng)用于無(wú)需采用常規(guī)光阻劑基光刻的極度精細(xì)的結(jié)構(gòu)中。FOTURAN^TM在微系統(tǒng)技術(shù)的不同應(yīng)用領(lǐng)域得到了測(cè)試和檢驗(yàn)，這些領(lǐng)域包括微系統(tǒng)技術(shù)，半導(dǎo)體，遠(yuǎn)程通信，射頻器件，微流體，微光學(xué)和MEMS應(yīng)用

FOTURAN^TM II可提供更好的性能和更大的效益

現(xiàn)在，肖特采用一種全新的生產(chǎn)工藝，生產(chǎn)出一種全新一代的改性玻璃晶圓產(chǎn)品FOTURAN^TM II。該生產(chǎn)工藝可確保很高的重現(xiàn)性，以及整個(gè)晶圓產(chǎn)品均一的光敏性和光學(xué)特性。

肖特薄玻璃和晶圓產(chǎn)品戰(zhàn)略業(yè)務(wù)部負(fù)責(zé)人Fredrik Prince表示：“這些獨(dú)特的特性使FOTURAN^TM II晶圓產(chǎn)品成為無(wú)線射頻/微機(jī)電系統(tǒng)和生物技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)關(guān)鍵元件。借助該產(chǎn)品，我們的客戶可以生產(chǎn)出具有微米級(jí)別、前所未有的寬高比和更為精細(xì)微結(jié)構(gòu)的基板。”

FOTURAN^TM II晶圓的標(biāo)準(zhǔn)供應(yīng)尺寸包括直徑6英寸或8英寸的晶圓以及200X200毫米方形基板，產(chǎn)品厚度則在0.5毫米—1毫米之間。這些晶圓和方形基板可以按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟來(lái)進(jìn)行構(gòu)造和加工，即：紫外線曝光（采用無(wú)需使用光阻劑的標(biāo)準(zhǔn)光刻設(shè)備），熱處理，蝕刻和陶瓷化（可選，針對(duì)耐高溫領(lǐng)域的應(yīng)用）。用于構(gòu)造FOTURAN^TM II晶圓的主要行業(yè)包括半導(dǎo)體、電信、微機(jī)電系統(tǒng)傳感器、無(wú)線射頻元件、微流體和微光學(xué)等行業(yè)。

在無(wú)線射頻（RF）應(yīng)用領(lǐng)域，結(jié)構(gòu)化的FOTURAN^TM II基板可以使功率電感器在高頻設(shè)備中占據(jù)很小的占地面積、擁有高的品質(zhì)因子和高自諧振頻率（SRF）。另一方面，用于生物技術(shù)中的微流體即將成為諸多領(lǐng)域的主流支撐技術(shù)，這些領(lǐng)域包括醫(yī)療診斷、生命科學(xué)研究、藥物傳遞和合成等。FOTURAN^TM II晶圓可用于生產(chǎn)可重復(fù)使用、易于清洗和光學(xué)透明的滴定板。此外，與硅傳感器所不同的是，F(xiàn)OTURAN^TM II的可構(gòu)造性使小型熱質(zhì)的流量傳感器具有超快的響應(yīng)速度和優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。最后，F(xiàn)OTURAN^TM II晶圓還可用于半導(dǎo)體基板和采用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體設(shè)備的封裝工藝中。

肖特集團(tuán)是世界領(lǐng)先的由特種材料制成的薄玻璃和超薄玻璃晶圓及基板供應(yīng)商之一，而FOTURAN^TM II晶圓則是肖特集團(tuán)獨(dú)特產(chǎn)品組合中的一個(gè)有力補(bǔ)充。

關(guān)于肖特公司

肖特公司（SCHOTT）是一家特種玻璃和玻璃陶瓷領(lǐng)域的領(lǐng)先國(guó)際技術(shù)集團(tuán)。公司擁有130多年卓越的開(kāi)發(fā)、材料和技術(shù)專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，供應(yīng)范圍寬廣的高質(zhì)量產(chǎn)品系列。肖特公司是許多行業(yè)的創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)者，包括家用電器、制藥、電子、光學(xué)器件、汽車和航空行業(yè)。肖特致力于為每個(gè)人的生活做出重要貢獻(xiàn)，專注創(chuàng)新和可持續(xù)成功。集團(tuán)通過(guò)設(shè)在35個(gè)國(guó)家和地區(qū)的生產(chǎn)基地和銷售辦事處展開(kāi)全球化經(jīng)營(yíng)。集團(tuán)擁有約15000名員工，2014/2015財(cái)務(wù)年度第1季度銷售額達(dá)19.3億歐元。母公司SCHOTT AG總部設(shè)于（德國(guó)）美因茨，由卡爾·蔡司基金會(huì)全資擁有。作為一家基金公司，肖特公司對(duì)員工、社會(huì)和環(huán)境擔(dān)負(fù)著特殊責(zé)任。