Silicon Labs宣布推出業界最高整合度、基于MEMS的Si50x振蕩器，以替代需要低成本、低功耗和大量生產的工業、嵌入式和消費性電子應用中的通用型晶體振蕩器（XO），相關應用包括數字相機、儲存設備和內存、ATM、POS設備和多功能打印機等。新型Si50x振蕩器基于Silicon Labs專利的CMEMS技術，為首項在大量生產中將MEMS架構直接建構于標準CMOS晶圓上、并達到完全整合的高可靠性“CMOS+MEMS”單芯片解決方案。

相較于現有的頻率控制解決方案，Silicon Labs Si50x CMEMS振蕩器系列產品具備更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化特性以及更高整合度，其采用專利技術的單片式架構，在單晶粒（single die）中整合MEMS諧振器和CMOS振蕩器電路。首創的CMOS+MEMS整合架構與Silicon Labs廣受肯定的混合信號專業經驗相結合，將大幅改變頻率控制產業：

1. CMEMS振蕩器于CMOS工廠大量生產制造，此工廠擁有標準生產線，支持完整振蕩器系統的晶圓針測（wafer probing）制程，具備最高質量和生產技術

2. CMEMS技術可實現數據手冊保證的性能，并具備10年的頻率穩定性，包括焊接偏移、負載推移、VDD變化、運行溫度范圍、振動和沖擊，其保證操作壽命性能是他牌XO和MEMS振蕩器的10倍

3. CMEMS振蕩器緊密耦合MEMS諧振器、CMOS溫度傳感器和補償電路，并在熱力瞬變時及整個工業溫度范圍內提供高穩定的頻率輸出，在工業和嵌入式應用的長期運作期間提供可預期的可靠頻率參考

4. CMEMS諧振器采用被動補償，在設計中使用可抵消溫度變動的材料。因此Silicon Labs可通過創新的混合信號電路設計專業知識，來創造更小、更低功耗、更符合成本效益的振蕩器，同時確保最佳的頻率和溫度穩定性以及抗老化性能

Si50x CMEMS振蕩器支持32kHz至100MHz間的任意頻率。頻率穩定性選項包括±20ppm、±30ppm和±50ppm，運行溫度范圍支持商業應用（-20℃至+70℃）和工業應用（-40℃至+85℃）。CMEMS振蕩器還提供豐富的現場和工廠可編程特性，包括低功耗和低周期抖動模式、可編程的上升/下降時間，以及可配置高/低輸出（OE, output-enable）功能。

Si50x CMEMS振蕩器系列產品為客戶解決傳統方案中常見的供應鏈問題。Si50x振蕩器由全球領先的中芯國際（SMIC）生產制造，其為中國大陸規模最大、最先進的晶圓代工廠。通過規模效應和質量控制，該策略性合作關系可大幅增加制造和供應的可預測性。由于CMEMS振蕩器為整合式單芯片，通過采用廣泛生產的壓模膠（molded-compound）4接腳封裝更確保可靠的供應鏈和可預測性。

IHS MEMS和傳感器總監兼資深首席分析師Jeremie Bouchaud表示，“時序產品市場現已面臨轉折點 － 最新一代基于MEMS的振蕩器極具成本效益，能可靠地替代傳統晶體振蕩器。Silicon Labs CMEMS技術將MEMS諧振器和頻率控制電路整合至單晶粒組件中，可為大量電子系統設計提供最完整的晶體振蕩器替代解決方案。”

Si50x振蕩器如同Silicon Labs的所有振蕩器產品，均提供網絡客制化功能和2周樣品交付周期，其也可通過Silicon Labs銷售合作伙伴在客戶端“零延遲”實時現場刻錄。此外，Si50x振蕩器與現有的石英或MEMS振蕩器接腳和封裝兼容，可實現快速便捷的替換解決方案。

Si50x系列產品包括四類產品，具有數千種的時序配置彈性：

·Si501為具備控制輸出（OE）功能的單頻振蕩器
·Si502為具備OE和頻率選擇（FS, frequency-select）功能的雙頻振蕩器
·Si503為具備頻率選擇技術的四頻振蕩器
·Si504為可編程的振蕩器，完整支持所有配置特性，采用單一接腳接口，以ppb（parts per billion）等級精度進行精準的頻率調整

Silicon Labs副總裁暨時序產品總經理Mike Petrowski表示，“Si50x CMEMS振蕩器系列產品是頻率控制市場的重要技術進展，其結合基于MEMS單晶粒解決方案的所有優點，同時具備通用型晶體振蕩器的最佳特點，并提高可靠性以及縮短交貨周期。經由結合Silicon Labs專業的MEMS設計、組件、制程整合和混合信號設計技術，Si50x系列產品為重視成本和功耗之嵌入式、工業和消費性電子應用提供了最佳的通用型振蕩器解決方案。”