精工愛普生公司(Epson)宣布開發出三種全新系列的精巧型石英振蕩器產品。新的SG-210S*H 系列振蕩器尺寸為2.5 mm x 2.0 mm，能在80 MHz至170 MHz的范圍內以穩定的高頻基本波振蕩。

近幾年來，更為快速的數位設備及更高的網絡承載容量，促成更高頻率運轉時脈的使用需求。但是，大部份用來做為時脈源的高頻石英振蕩器，都是7.0 mm x 5.0 mm的大封裝。此外，常見于這些產品中的石英晶體(共振器)，多是以三階諧波模式運作，其穩定性是次于基本波的。因此對于更小型、更穩定高頻率石英振蕩器的市場需求便因應而生。

為回應此一需求，Epson運用其QMEMS 技術，將石英材料與微機電系統技術結合，推出SG-210S*H 系列產品。本系列產品中的振蕩器配備內建的石英晶體，能以極為穩定的基本波振蕩，不僅其封裝后的大小僅2.5 mm x 2.0 mm，同時，與現有同等Epson產品相較，耗電量約降低70%。

借由使用光學微影QMEMS 制程，能削薄靠近勵磁電源(電極)的石英晶片內的特定區域，設立出一個蝕刻技術(inverted-mesa)的結構，以達到高頻率基本波的小尺寸及高穩定性。相位抖動的典型值為0.3 ps，對于高速時脈源的這項重要特性來說，是非常低的數值。