安捷倫科技（Agilent Technologies Inc.）今天發(fā)表了集成電路特性描述與分析程式(IC-CAP) Wafer Professional (WaferPro) 軟件。該款新軟件為半導(dǎo)體元件的模擬應(yīng)用，提供一個(gè)多元件（multi-site）、多晶圓的自動(dòng)化直流與射頻測(cè)量解決方案。

WaferPro可以讓使用者控制半自動(dòng)與全自動(dòng)探針臺(tái)。因支援最新的切換矩陣和熱夾頭解決方案，WaferPro可在一個(gè)溫度范圍內(nèi)自動(dòng)執(zhí)行局部（spot）和掃描（swept）測(cè)量。 WaferPro直接控制安捷倫4070和4080參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的能力，可大幅提升測(cè)量的速度。

使用WaferPro，每當(dāng)溫度改變就會(huì)自動(dòng)執(zhí)行晶圓對(duì)準(zhǔn)，如此可省去工程師監(jiān)測(cè)測(cè)量的麻煩。測(cè)試計(jì)畫可以自動(dòng)在不同的測(cè)量站，使用不同的硬體執(zhí)行，以提高實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的利用率。以復(fù)雜結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的WaferPro，也可執(zhí)行高效率的資料分析與處理，并為之后復(fù)雜的模擬作業(yè)提供良好的基礎(chǔ)。

臺(tái)灣安捷倫科技電子測(cè)量事業(yè)群總經(jīng)理張志銘表示：“元件模擬的復(fù)雜度不斷提高，連帶增加了萃取與驗(yàn)證所需的測(cè)量。統(tǒng)計(jì)模擬對(duì)晶圓代工廠來說是一大挑戰(zhàn)，但也是負(fù)責(zé)處理較小電晶體和較復(fù)雜應(yīng)用的設(shè)計(jì)師必須優(yōu)先考慮的事。此外，不只是制程開發(fā)與制造環(huán)境，就連元件模擬實(shí)驗(yàn)室也愈來愈常采用安捷倫的參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)。WaferPro是為了解決這些挑戰(zhàn)而率先推出的新產(chǎn)品。”