當在晶圓上執行光電元器件的測量時(例如器件處理的早期階段，或者需要被測件電子接口的精確相位信息的平衡操作中)，為器件夾具和電纜提供全面參考而將電光校準參考平面精確地擴展到被測件接口非常重要。電子多端口校準套件、晶圓上校準標準件與表征工具一起使用，能夠以距離被測件最近的同軸接口為參考對設施執行電子校準，并將這個校準平面擴展到被測件連接平面，例如超出晶圓探頭。

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