在分析硅襯底上射頻螺旋電感物理模型的基礎(chǔ)上,從幾何參數(shù)、工藝參數(shù)及電感組成形式考慮,用模擬軟件 ASITIC(Analysis and Simulation of Spiral Inductors and Transformers for ICs)對影響電感值和Q值及諧振頻率的各參數(shù)進(jìn)行全面詳盡的模擬,得出了幾條實用的設(shè)計原則且用此模擬方法與所得結(jié)論均可有效地指導(dǎo)射頻集成電路中集成電感的設(shè)計。

本文采用模擬工具ASITIC 對電感的幾何參數(shù)、工藝參數(shù)及串、并聯(lián)形式電感進(jìn)行了模擬, 給出了模擬結(jié)果,并進(jìn)行了分析。

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