基于MEMS技術的濾波器是現行RF 結構中一個關鍵的MEMS器件。與傳統的采用金屬 矩形或圓柱波導以及半導體元件制作的濾波器相比,MEMS濾波器具有低損耗、高隔離度、線性好、體積小、易于集成等優點。對利用MEMS 技術制作的濾波器做了分類總結, 綜述了近幾年 MEMS 濾波器的研究進展, 包括硅體微加工濾波器、LIGA 傳輸線型濾波器和基于MEMS 開關/電 容實現的可調濾波器。指出可調濾波器的開發適應微波、毫米波波段的多頻段、寬帶無線通信系統的迫切需要, 具有重要的現實意義。

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