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電子回旋共振等離子體源的數(shù)值模擬

2013-03-18 我要評(píng)論(0) 字號(hào):
主題資源: 微波功率
資料語言: 簡(jiǎn)體中文
資料類別: PDF文檔
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評(píng)論等級(jí):
更新時(shí)間: 2013-03-18 10:12:35
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資料簡(jiǎn)介

物理學(xué)報(bào)  2000, Vol. 49  Issue (3): 497-501

胡希偉1, 鄔欽崇2, 俞國(guó)揚(yáng)2, 劉明海3
(1)中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代物理系,合肥230026; (2)中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所,合肥230031; (3)中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所,合肥230031 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代物理系,合肥230026
 
Hu Xi-Wei1, Wu Qin-Chong2, Yu Guo-Yang2, Liu Ming-Hai3

摘要: 采用自洽微波功率吸收的二維混合模型,對(duì)電子回旋共振等離子體源中的各種物理參量(電離速率、等離子體密度、位勢(shì)、電子溫度)進(jìn)行數(shù)值模擬.結(jié)果表明:等離子體參數(shù)隨運(yùn)行條件(中性氣壓和微波功率)變化呈現(xiàn)出區(qū)域特征、飽和現(xiàn)象和振蕩行為等非線性現(xiàn)象

引用本文:   
劉明海,胡希偉,鄔欽崇 等 . 電子回旋共振等離子體源的數(shù)值模擬. 物理學(xué)報(bào), 2000, 49(3): 501. 
Cite this article:   
Liu Ming-Hai,Hu Xi-Wei,Wu Qin-Chong et al. . Acta Phys. Sin., 2000, 49(3): 497-501. 

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